检测项目

密封性能检测：

• 氦质谱检漏：标准漏率（≤1×10^-9 Pa·m³/s，参照GB/T 3163）
• 真空维持性：静态压升率（≤5×10^-3 Pa/24h）
• 启闭密封性：启闭前后真空度波动值（ΔP≤1×10^-4 Pa）

• 材料放气率：单位面积放气量（≤1×10^-9 Pa·m³/s·cm²）
• 饱和蒸气压：材料蒸发特性（≤10^-8 Pa@20℃）
• 成分分析：Cr/Ni/Mo含量偏差（±0.05wt%，GB/T 11170）

• 闸板强度：屈服强度（Rp0.2≥355MPa）
• 阀杆扭矩：最大启闭扭矩（≤150N·m）
• 密封面硬度：维氏硬度（HV0.3≥400）

• 闸板平面度：密封面平面度（≤0.005mm/m）
• 同轴度：阀杆与密封面同轴度（≤Φ0.01mm）

• 极限真空度：可达真空度（≤5×10^-7 Pa）
• 温度循环：-196℃~150℃真空保持性

• 启闭寿命：机械循环次数（≥1×10^5次）
• 传动效率：扭矩传递损耗率（≤8%）

• 镀层厚度：硬铬镀层（15±2μm）
• 表面粗糙度：Ra≤0.2μm（GB/T 1031）

• 绝缘电阻：法兰间电阻值（≥100MΩ/1000V）
• 电连续性：电阻值（≤0.1Ω）

• 颗粒污染：≥5μm颗粒数（≤100个/cm²）
• 有机物残留：TOC含量（≤1μg/cm²）

• 渗透率：金属材料氦渗透系数（≤10^-14 m²/s）

检测范围

1. 奥氏体不锈钢阀体： 304/316L材质，重点检测Cr/Ni元素偏析及晶间腐蚀倾向

2. 铝合金真空腔体： 6061-T6材质，检测阳极氧化层耐真空剥离性能

3. 铜合金密封件： C17200铍铜，检测时效处理后的硬度均匀性

4. 金属波纹管： 316L薄壁焊接件，检测0.1mm壁厚区域氦泄漏率

5. 陶瓷密封环： Al2O3陶瓷，检测晶相纯度（α相≥99%）

6. 氟橡胶密封圈： FKM材质，检测真空失重率（≤0.5%/24h@150℃）

7. 磁流体密封组件： 铁磁流体，检测饱和磁化强度（≥400Gs）

8. 金属溅射镀膜： TiN镀层，检测膜基结合力（≥50N，ISO 20502）

9. 真空钎焊焊缝： 镍基焊料，检测钎着率（≥95%）

10. 传动齿轮组： 20CrMnTi渗碳件，检测有效硬化层深度（0.3±0.05mm）

检测方法

国际标准：

• ASTM F31-20 金属材料饱和蒸气压测定
• ISO 3529-3:2020 真空技术术语与单位
• ISO 1608-8:2020 容积真空泵性能测量
• ASTM E595-15 材料总质量损失和挥发物测试
• IEC 61340-5-1:2016 静电防护控制程序

• GB/T 3163-2007 真空技术术语
• GB/T 3164-2007 真空技术图形符号
• GB/T 6070-2007 真空法兰
• GB/T 11170-2008 不锈钢多元素含量测定
• GB/T 12604.7-2014 真空漏孔校准方法
• GB/T 34879-2017 真空技术材料放气率测定
• GB/T 38522-2020 真空技术真空度测量方法
• GB/T 40334-2021 真空技术真空系统漏率测试
• GB/T 40335-2021 真空技术真空系统性能测试
• GB/T 40336-2021 真空技术真空系统设计规范

检测设备

1. 氦质谱检漏仪： ZQJ-530型（灵敏度1×10^-13 Pa·m³/s，响应时间≤1s）

2. 真空镀膜测厚仪： FV-600型（测量范围0.01-100μm，精度±1nm）

3. 四极质谱仪： HPR-60型（质量数1-300amu，分辨率0.5amu）

4. 真空材料放气测试系统： DQ-1000型（极限真空5×10^-8 Pa，控温范围-70~300℃）

5. 全自动显微硬度计： FM-800型（载荷0.01-2kgf，压痕自动识别）

6. 真空扭矩测试台： TNZ-200型（扭矩范围0.01-200N·m，真空度≤5×10^-5 Pa）

7. 激光干涉平面仪： PL-2000型（测量精度λ/20，行程600mm）

8. 真空热循环试验舱： RCT-800型（温区-196~350℃，升降温速率15℃/min）

9. 直读光谱分析仪： OES-8000型（检测限0.1ppm，氩气纯度99.999%）

10. 三维白光干涉仪： ContourGT-X8型（垂直分辨率0.01nm，横向分辨率0.4μm）

11. 氦渗透测试仪： HPTS-100型（渗透率检测范围10^-10~10^-18 m²/s）

12. 高真空多靶磁控溅射机： MSP-800T型（本底真空≤5×10^-5 Pa，基片温度≤800℃）

13. 残余气体分析系统： RGA-300型（检测限10^-14 Torr，扫描速度100amu/s）

14. 真空微流量校准装置： MFCS-100型（流量范围10^-4~10^-12 Pa·m³/s）

15. 全自动颗粒计数器： LPC-070型（检测粒径0.5-200μm，流量1m³/min）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。